西安邮电大学为推进半导体材料与器件研发，现对自动化磁控溅射设备进行竞争性谈判采购，项目编号 SCIT-ZT-SX2025090001，预算金额 97 万元，交货地点为西安邮电大学长安校区半导体实验室陕西省政府采购网。招标范围包含自动化磁控溅射设备 1 套，及配套真空系统、电源系统、控制系统、冷却系统、安装调试、技术培训、质保服务。设备需具备多靶位共溅射功能，靶位数量≥4 个，可兼容金属、陶瓷、合金靶材；真空系统需实现高真空环境，极限真空≤5×10^-6Pa，抽真空时间≤30min；电源系统需适配直流、射频、脉冲电源，功率范围 0-5kW；控制系统需采用 PLC + 触摸屏，实现工艺参数自动设定、存储、调用，具备远程监控功能；冷却系统需满足设备长时间运行散热需求，温度控制精度 ±1℃。设备需全新原装，符合实验室安全标准，提供 1 年质保及终身技术支持。投标人需为独立法人，具备半导体设备生产或经销资质，提供产品授权书、技术参数、售后服务承诺。响应文件需于 2025 年 10 月 10 日 14 时 30 分前上传至陕西省政府采购电子化交易系统，不接受联合体投标。中标方需在合同签订后 30 日内完成供货、安装调试及人员培训，确保设备满足科研实验需求。
